SUBSTRATES TRANSFFER DEVICE, SUBSTRATES TREATING APPARATUS HAVING THE SAME AND METHOD OF TRANSTFFERING SUBSTRATES USING THE SAME,申请号KR20080101665-传众专利搜索

发明名称	SUBSTRATES TRANSFFER DEVICE, SUBSTRATES TREATING APPARATUS HAVING THE SAME AND METHOD OF TRANSTFFERING SUBSTRATES USING THE SAME
摘要
申请公布号	KR101021980(B1)	申请公布日期	2011.03.17
申请号	KR20080101665	申请日期	2008.10.16
申请人		发明人
分类号	H01L21/677	主分类号	H01L21/677
代理机构		代理人
主权项
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