发明名称 |
Use of an insulating spacer to prevent threshold voltage roll-off in narrow devices |
摘要 |
|
申请公布号 |
EP1145304(B1) |
申请公布日期 |
2011.03.16 |
申请号 |
EP20000975391 |
申请日期 |
2000.10.26 |
申请人 |
NXP B.V. |
发明人 |
ZHENG, TAMMY;NOURI, FARAN |
分类号 |
H01L21/76;H01L21/762;H01L21/8234;H01L27/088 |
主分类号 |
H01L21/76 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|