发明名称 Use of an insulating spacer to prevent threshold voltage roll-off in narrow devices
摘要
申请公布号 EP1145304(B1) 申请公布日期 2011.03.16
申请号 EP20000975391 申请日期 2000.10.26
申请人 NXP B.V. 发明人 ZHENG, TAMMY;NOURI, FARAN
分类号 H01L21/76;H01L21/762;H01L21/8234;H01L27/088 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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