切削悬浮液回收的方法

摘要

本发明公开了一种切削废悬浮液回收的方法，其特征在于将硅晶片加工工艺中的线切削废砂浆进行多步骤处理，包括如下步骤：固相物的去除、初液中小颗粒物的去除、金属微粒的去除、悬浮液水分去除。本发明的方法使每次回收的聚乙二醇(PEG)基或油基悬浮液达到与全新原料相同或相近的性能指标，同时悬浮液的回收率可达90％，且可100％替代新料实现再次使用使通过该方法可以实现同一批料多次回收循环再利用的目的，不仅最大限度地提高了原材料的使用效率，降低了硅片的生产成本，而且避免了废砂浆排放给环境造成的污染。

主权项

一种切削废悬浮液回收的方法，其特征在于将硅晶片加工工艺中的线切削废砂浆进行多步骤处理，包括如下步骤：1)固相物的去除：通过固液分离的方法将废砂浆中的固相物分离出去并获得悬浮液初液，固液分离所使用的分离设备可以采用离心沉降机、离心过滤机、真空过滤机、压滤机及其它可实现固液分离的设备中任选的一个或多个；2)初液中小颗粒物的去除：通过过滤的方法，将悬浮液初液中绝大部分的残留固相杂质剔除出去，使悬浮液中的固体含量≤5％；采用板式过滤机、袋式过滤机、压滤机、碟式离心过滤机、真空过滤设备及其它可用于将悬浮液中的固体细颗粒过滤的设备中的任选的一个或多个对悬浮液进行初级过滤；在固液分离所得的悬浮液中添加离子型絮凝剂、非离子型絮凝剂或助滤剂，包括三氯化铁、氧化亚铁、硫酸铁、氯化铁、聚合硫酸铁、聚合氯化铁、硫酸铝、三氯化铝、硫酸铝钾、聚合氯化铝、聚合硫酸铝、氯化锌、湖泊磺酸盐及其衍生物、甲壳素、纤维素、木质磺酸素、改性淀粉、聚氧乙烯醚及其衍生物、聚丙烯酰胺、聚丙烯酸钠、聚氧化乙烯、聚乙烯吡啶、羧甲基纤维素、甲醛‑苯胺树脂、聚胺、聚季胺盐、顺丁烯二酸酐共聚物、藻蛋白酸钠、苯乙烯磺酸钠聚合物、脲醛树脂、硅藻土、石棉、膨胀珍珠岩中任选的一种或几种。3)金属微粒的去除：通过过滤精度应小于1μm的精滤设备去除极细小金属杂质，使液相中的固体含量≤0.01％。4)悬浮液水分去除：将悬浮液通过液体脱水干燥设备进行脱水处理，将其含水率降低至1％以下。