一种铜箔后处理系统中硅溶液回收装置

摘要

一种铜箔后处理系统中硅溶液回收装置，包括挤水辊和硅溶液回收单元，挤水辊用于设置在T7处理阶段的T7水洗槽与T8处理阶段T8处理槽之间的上导辊上方并偏于T7水洗槽侧的位置，挤水辊与T7水洗槽、T8处理槽之间上导辊的轴线平行，挤水辊与T7水洗槽、T8处理槽之间上导辊相对外壁之间的距离设置为铜箔的厚度；硅溶液回收单元用于回收硅溶液。采用挤水辊与T7水洗槽、T8处理槽之间的上导辊相配合，将铜箔从T7水洗槽带出的水分挤出并流入T7水洗槽内，防止进入T8处理步骤的铜箔带有过多的水分影响喷硅，此外，利用硅溶液回收单元可将铜箔经过T8处理槽内下导辊、烘箱前下导辊时流下的硅溶液直接回收到T8储液罐中。

主权项

一种铜箔后处理系统中硅溶液回收装置，其特征在于：包括挤水辊和硅溶液回收单元，挤水辊用于设置在T7处理阶段的T7水洗槽与T8处理阶段T8处理槽之间的上导辊上方并偏于T7水洗槽侧的位置，挤水辊与T7水洗槽、T8处理槽之间上导辊的轴线平行，挤水辊与T7水洗槽、T8处理槽之间上导辊相对外壁之间的距离设置为铜箔的厚度；硅溶液回收单元用于设置于T8处理阶段T8处理槽内以及T8处理槽与烘箱之间。