发明名称 |
整列针、整列针清洗装置及整列针清洗系统 |
摘要 |
本实用新型公开了一种整列针、整列针清洗装置及整列针清洗系统。本实用新型提供的实施例通过对整列针和整列针清洗装置结构上的匹配改变,使得整列针清洗装置在清洗整列针的同时,促使整列针旋转,更好地达到清洗目的;解决了原整列针清洗不干净给后续工序带来的问题;避免由于整列针清洗不干净长期处于空气中形成硬块而撞碎玻璃基板,从而提高良品率;同时还可以避免污染玻璃基板侧面,减少当玻璃基板进入后续工序时,对后续工序的设备造成的污染。 |
申请公布号 |
CN201765414U |
申请公布日期 |
2011.03.16 |
申请号 |
CN201020171479.2 |
申请日期 |
2010.04.20 |
申请人 |
北京京东方光电科技有限公司 |
发明人 |
焦宇;张学智;张琨鹏 |
分类号 |
G02F1/1333(2006.01)I;G03F7/42(2006.01)I |
主分类号 |
G02F1/1333(2006.01)I |
代理机构 |
北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 |
代理人 |
王庆龙 |
主权项 |
一种整列针,包括用于与基板接触的接触柱体,其特征在于,在所述接触柱体上设置有一能够带动所述接触柱体进行旋转的旋转装置。 |
地址 |
100176 北京市经济技术开发区西环中路8号 |