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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR DEPOSITING THIN LAYERS OF POLYMERIC PARA-XYLYLENE OR SUBSTITUTED PARA-XYLYLENE
摘要
申请公布号 EP2293883(A1) 申请公布日期 2011.03.16
申请号 EP20090757537 申请日期 2009.06.03
申请人 AIXTRON SE 发明人 GERSDORFF, MARKUS;GOPI, BASKAR, PAGADALA;MEYER, NICO
分类号 B05D7/24 主分类号 B05D7/24
代理机构 代理人
主权项
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