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发明名称
TRANSPORT DEVICE, ESPECIALLY FOR TRANSPORTING FLAT SUBSTRATES THROUGH A COATING INSTALLATION
摘要
申请公布号
EP1868927(B1)
申请公布日期
2011.03.16
申请号
EP20060724110
申请日期
2006.04.07
申请人
VON ARDENNE ANLAGENTECHNIK GMBH;FIRST SOLAR, INC.
发明人
HENTSCHEL, MICHAEL;LESSMANN, STEFFEN;HUHN, MICHAEL;JAEGER, REINHARD;POWELL, RICKY, C.
分类号
B65G49/00;B05B13/02;B65G13/07
主分类号
B65G49/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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