发明名称 一种三轴罗茨真空泵
摘要 本发明涉及一种真空泵,具体涉及一种三轴罗茨真空泵。包括电机、主轴和从动轴,主轴上装配有主动齿轮,与主动齿轮相啮合的从动齿轮装配在从动轴上,在主轴和从动轴上装有罗茨转子,所述的从动轴有两根,平行且对称的装配在主轴的两侧。本发明具有结构紧凑、结构对称、三作用抽气和泵腔内无油的特点,能实现较大的抽气速率。
申请公布号 CN101985935A 申请公布日期 2011.03.16
申请号 CN201010565609.5 申请日期 2010.11.30
申请人 东北大学;中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司 发明人 刘坤;巴德纯;岳向吉;李培印;王光玉;张振厚
分类号 F04C25/02(2006.01)I;F04C18/14(2006.01)I 主分类号 F04C25/02(2006.01)I
代理机构 沈阳东大专利代理有限公司 21109 代理人 崔兰莳
主权项 一种三轴罗茨真空泵,包括电机、主轴和从动轴,主轴上装配有主动齿轮,与主动齿轮相啮合的从动齿轮装配在从动轴上,在主轴和从动轴上装有罗茨转子,其特征在于所述的从动轴有两根,平行且对称的装配在主轴的两侧。
地址 110819 辽宁省沈阳市和平区文化路3号巷11号