发明名称 |
一种三轴罗茨真空泵 |
摘要 |
本发明涉及一种真空泵,具体涉及一种三轴罗茨真空泵。包括电机、主轴和从动轴,主轴上装配有主动齿轮,与主动齿轮相啮合的从动齿轮装配在从动轴上,在主轴和从动轴上装有罗茨转子,所述的从动轴有两根,平行且对称的装配在主轴的两侧。本发明具有结构紧凑、结构对称、三作用抽气和泵腔内无油的特点,能实现较大的抽气速率。 |
申请公布号 |
CN101985935A |
申请公布日期 |
2011.03.16 |
申请号 |
CN201010565609.5 |
申请日期 |
2010.11.30 |
申请人 |
东北大学;中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司 |
发明人 |
刘坤;巴德纯;岳向吉;李培印;王光玉;张振厚 |
分类号 |
F04C25/02(2006.01)I;F04C18/14(2006.01)I |
主分类号 |
F04C25/02(2006.01)I |
代理机构 |
沈阳东大专利代理有限公司 21109 |
代理人 |
崔兰莳 |
主权项 |
一种三轴罗茨真空泵,包括电机、主轴和从动轴,主轴上装配有主动齿轮,与主动齿轮相啮合的从动齿轮装配在从动轴上,在主轴和从动轴上装有罗茨转子,其特征在于所述的从动轴有两根,平行且对称的装配在主轴的两侧。 |
地址 |
110819 辽宁省沈阳市和平区文化路3号巷11号 |