| 发明名称 | 图型化电极诱导和微波固化制作纳米结构的装置 | ||
| 摘要 | 本实用新型是一种图型化电极诱导和微波固化制作纳米结构的装置。该装置包括：成形系统；成形材料；基底；纳米结构诱导系统；微波固化系统，所述成形系统由背板、支撑、图型化电极组成；成形材料是低粘度和高介电常数的液态热固性环氧树脂材料；基底是P型硅片；纳米结构诱导系统以图型化电极为直流电场的阳极，基底为直流电场的阴极，图型化电极位于基底的上方，其阳极与图型化电极相连，阴极与基底相连。本实用新型具有结构简单、成本低、生产率高、电极使用寿命长、图形精度高等特点，可实现100纳米以下纳米结构高效和低成本制作。 | ||
| 申请公布号 | CN201762092U | 申请公布日期 | 2011.03.16 |
| 申请号 | CN201020199493.3 | 申请日期 | 2010.05.24 |
| 申请人 | 山东大学 | 发明人 | 兰红波;丁玉成 |
| 分类号 | B82B3/00(2006.01)I | 主分类号 | B82B3/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 济南圣达专利商标事务所有限公司 37221 | 代理人 | 张勇 |
| 主权项 | 一种图型化电极诱导和微波固化制作纳米结构的装置，包括：成形系统；成形材料；基底；纳米结构诱导系统；微波固化系统，其特征是，所述成形系统由背板、支撑、图型化电极组成；成形材料均匀旋涂在基底上；基底是P型硅片；纳米结构诱导系统以图型化电极为直流电场的阳极，基底为直流电场的阴极，图型化电极位于基底的上方，其阳极与图型化电极相连，阴极与基底相连。 | ||
| 地址 | 250061 山东省济南市历下区经十路17923号 | ||