一种多注行波管栅极的制造工艺

摘要

本发明公开了一种多注行波管栅极的制作工艺，包括：钳工备料工序→三氯乙烯去油工序→车加工工序→三氯乙烯去油工序→酸洗工序→钳加工工序→氢气退火工序→钳加工工序→车加工工序→钳加工工序→车加工工序→钳加工工序→三氯乙烯去油工序→化学去油工序→亮化抛光处理工序→挑选工序→检测工序→化学去油工序→酸洗工序→氢气退火工序→镀铼工序→氢气退火烧结工序→检测工序；本发明工艺流程看似复杂，实则非常简单，其通过常规车加工工艺、钳工工艺、酸洗工艺、去油工艺及零部件尺寸及精度检测工艺，制备多注行波管栅极，其在常温常压下即可完成栅极的制备。本发明适用的工艺简单，制作成本低廉，并能够保证制备的栅极的工艺精度。

主权项

一种多注行波管栅极的制造工艺，其特征在于：包括以下工序：钳工备料工序→三氯乙烯去油工序→车加工工序→三氯乙烯去油工序→酸洗工序→钳加工工序→氢气退火工序→钳加工工序→车加工工序→钳加工工序→车加工工序→钳加工工序→三氯乙烯去油工序→化学去油工序→亮化抛光处理工序→挑选工序→检测工序→化学去油工序→酸洗工序→氢气退火工序→镀铼工序→氢气退火烧结工序→检测工序；具体为：(1)钳工备料工序在钳工工作台上用剪板刀切割毛坯，选取需要的零件毛坯尺寸及零件毛坯数目；(2)三氯乙烯去油工序将(1)中所得的零件毛坯用1级工业三氯乙烯，质量为0.7KG对其去油；(3)车加工工序用螺纹车床及夹具将(2)中获得的毛坯进行车削加工，获得需要的初始零件毛坯尺寸，磨钝毛坯边缘的锐边，需准备乳化液2.0L用于车床车削时的冷却剂；(4)三氯乙烯去油工序将经(3)处理的初始零件毛坯用1级工业三氯乙烯，质量为0.7KG去油；(5)酸洗工序将经(4)处理过的初始毛坯，先用蒸馏水清洗3～5分钟，再用0.9L丙酮，0.06M绡棉，0.5KG硝酸，0.3KG硫酸，0.04KG工业氯化钠分别进行清洗，每次清洗时间为1～3分钟，清洗时用通风柜通风，最后用干燥柜干燥；(6)钳工加工工序将经(5)处理过的零件毛坯放在钳工台的固定整平夹具上固定好，用P＝300±50Kg/cm2的液压机固定整平夹具上的毛坯；(7)氢气退火工序将经(6)处理过的毛坯与整平夹具一起放入氢炉中退火；氢气为体积3.4立方米，时间为3～5分钟；氢气体积为19.0立方米时间为3～5分钟；(8)钳加工工序将(7)处理后的毛坯与整平夹具一起放在钳工工具台，取下毛坯，检测平面度公差；(9)车加工工序用螺纹车床及夹具将(8)中获得的零件毛坯进行车削加工，获得需要的二次零件毛坯加工尺寸，磨钝毛坯边缘的锐边，需准备乳化液2.0L用于车床车削时的冷却剂；(10)钳工工序将经(9)处理过的零件毛坯安放固定到钳工工作台钻孔模具上，根据需求选择钻头；钻定位孔，用赛规检测；将定位销插入定位孔中；钻电子注通道孔，用赛规检测孔径，用花样模板在投影仪上从两侧检测孔的位置分布及其直径；再按照需求钻工艺孔，用塞规检测孔径；将零件毛坯从磨具上取下，用铰刀清除所有孔内毛刺，再用金刚石膏剂从两侧擦拭零件毛坯，不可破坏厚度；再次用塞规检测孔，如毛刺未清除干净，再次清除孔内毛刺，再将零件毛坯放大8倍检测是否有毛刺；(11)车加工工序用螺纹车床及夹具将(10)中获得的零件毛坯表面进行车削加工，获得需要的三次零件毛坯尺寸，再次磨钝毛坯边缘的锐边，需准备乳化液2.0L用于车削时的冷却剂；(12)钳工工序用钳工工作台对(11)步骤处理的零件毛坯去除毛刺；(13)三氯乙烯去油工序用1级工业三氯乙烯0.44KG对(12)中处理后的零件毛坯进行去油，用通风柜进行通风；(14)化学去油工序先对(13)中处理后的零件毛坯进行超声清洗3～5分钟，再用0.08KG草酸钠，0.08KG二水酒石酸钠，0.17KG丙酮，0.02KGOP乳化剂分别对其进行酸洗，每次清洗时间为1～2分钟；(15)亮化抛光处理工序将经(14)中处理的零件毛坯用0.1KG盐酸及0.15KG丙酮分别进行酸洗，每次清洗时间为1～2分钟；(16)挑选工序将(15)中得到的零件毛坯在显微镜下放大12倍挑选出没有毛刺的零件；(17)检测工序用赛规检测(16)中得到的零件孔的精度，用花样模板检测孔的位置分布和尺寸，去掉不符合要求的零件；(18)化学去油工序经(17)处理后的零件用蒸馏水超声清洗3～5分钟；用0.08KG草酸钠，0.08KG二水酒石酸钠，0.02KG OP乳化剂分别对零件进行去油，每次酸洗时间为1～2分钟；(19)酸洗工序将经(18)处理后的零件用蒸馏水清洗3～5分钟；再用0.1KG硝酸，0.15KG硫酸，0.2KG丙酮分别对零件进行酸洗，每次酸洗时间为1～2分钟；(20)氢气退火工序将经(19)处理后的零件放置于氢气炉中退火处理，使用3.4立方米氢气，退火时间3～5分钟；使用19.0立方米氢气，退火时间3～5分钟；(21)镀铼工序将经(20)处理后的零件，使用0.01KG铼酸钾，0.01KG硫酸铵及1级工业丙酮0.2KG用镀铼设备对其镀铼；(22)氢气退火烧结工序将经(21)处理后的零件放入氢气炉3.4立方米氢气烧结3～5分钟；19.0立方米氢气烧结3～5分钟；(23)检测工序对经(22)步骤处理的零件检测镀层质量，剔除不合格品，得到合格的栅极。