一种改变晶片取向的研磨夹具

摘要

本发明公开了一种改变晶片取向的研磨夹具，包括与固定配重杆连接的载荷盘，载荷盘的下方是定位座，定位座是一个中空的开口朝下的圆凹槽，载荷盘和定位座分别开有对应的两个通孔，穿过每对通孔分别设置有调节支撑杆和固定支撑杆，调节支撑杆与载荷盘活动连接，固定支撑杆与载荷盘固定连接；在定位座的向下槽沿设置有研磨垫圈，定位座的空腔中设置有一个角度偏转盘，角度偏转盘上分别设置有铰链架和接耳，铰链架与固定支撑杆连接，接耳与调节支撑杆连接，角度偏转盘的下表面安装有粘片盘。本发明的研磨夹具能解决晶片加工中改变晶向或校正晶向误差的问题。

主权项

一种改变晶片取向的研磨夹具，其特征在于：包括载荷盘(16)，载荷盘(16)上设置有固定配重杆(2)，载荷盘(16)的下方是定位座(6)，定位座(6)是一个中空的开口朝下的圆凹槽，载荷盘(16)和定位座(6)分别开有对应的两个通孔，两个通孔中分别设置有调节支撑杆(1)和固定支撑杆(3)，固定支撑杆(3)和调节支撑杆(1)与载荷盘(16)连接的圆周表面设置有螺纹，载荷盘(16)的上、下表面分别设置有螺母C(17)和调节盘(15)，调节支撑杆(1)通过调节盘(15)和螺母C(17)与载荷盘(16)连接，固定支撑杆(3)通过上下表面的各一组螺母A(4)和垫圈(5)与载荷盘(16)连接；定位座(6)的空腔中设置有一个角度偏转盘(8)，角度偏转盘(8)开有轴心孔，沿角度偏转盘(8)的直径两端分别设置有铰链架(7)和接耳(19)，铰链架(7)通过圆柱销(13)与固定支撑杆(3)的下端连接，接耳(19)通过另一个圆柱销(13)与调节支撑杆(1)的下端连接，角度偏转盘(8)的下表面安装有粘片盘(10)，粘片盘(10)的轴心设置有向上的螺纹柱(18)，螺纹柱(18)穿过角度偏转盘(8)的轴心孔由螺母B(11)固定。