发明名称 |
一种氮化硅烧成炉 |
摘要 |
本实用新型公开了一种氮化硅烧成炉,包括炉膛、设在炉膛顶端的封盖和包裹炉膛的炉壁,在炉膛与炉壁之间设有保温层,在炉膛内设有加热棒,所述炉壁包括内层壁和外层壁,在内层壁和外层壁之间设有水冷套,水冷套上接有进水管和出水管。本实用新型在氮化硅粉末烧成结束后实现炉体快速降温,炉膛致密性好,高温条件下不会出现膨胀,节省耗气量,提高生产效率,降低生产成本。 |
申请公布号 |
CN201762104U |
申请公布日期 |
2011.03.16 |
申请号 |
CN201020270394.X |
申请日期 |
2010.07.23 |
申请人 |
章体 |
发明人 |
章体 |
分类号 |
C01B21/068(2006.01)I |
主分类号 |
C01B21/068(2006.01)I |
代理机构 |
杭州华鼎知识产权代理事务所(普通合伙) 33217 |
代理人 |
胡根良 |
主权项 |
一种氮化硅烧成炉,包括炉膛(1)、设在炉膛顶端的封盖(2)和包裹炉膛的炉壁(3),在炉膛与炉壁之间设有保温层(4),在炉膛内设有加热棒(5),其特征在于:所述炉壁包括内层壁(31)和外层壁(32),在内层壁和外层壁之间设有水冷套(6),水冷套上接有进水管和出水管。 |
地址 |
313104 浙江省长兴县虹星桥镇工业园区长兴县华虹电炉有限公司 |