发明名称 PROCESS FOR MAKING A BEVELLED CAVITY IN A SEMICONDUCTOR ELEMENT
摘要
申请公布号 US3628294(A) 申请公布日期 1971.12.21
申请号 USD3628294 申请日期 1969.05.12
申请人 AG. BROWN BOVERI & CIE 发明人 GUNTER SATTLER;KLAUS WEIMANN
分类号 H01L29/74;B24B9/06;B24B19/02;B28D5/04;H01L21/304;H01L29/861;(IPC1-7):B24B1/00 主分类号 H01L29/74
代理机构 代理人
主权项
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