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发明名称 Method for manufacturing pyrolytic boron nitride composite substrate
摘要
申请公布号 EP1983071(B1) 申请公布日期 2011.03.16
申请号 EP20080006094 申请日期 2008.03.28
申请人 SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD. 发明人 KAWAI, MAKOTO;KUBOTA, YOSHIHIRO;ATSUO, ITO;TANAKA, KOICHI;TOBISAKA, YUUJI;AKIYAMA, SHOJI
分类号 C23C14/06;H01L21/20;H01L21/762 主分类号 C23C14/06
代理机构 代理人
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