表面发射激光器及其制造方法和图像形成装置

摘要

本申请涉及表面发射激光器及其制造方法和图像形成装置。表面发射激光器包括设置在基板上的下部多层反射镜和上部多层反射镜。第一可氧化层被部分氧化，以形成包含第一导电区域和第一绝缘区域的第一电流限制层。第二可氧化层被部分氧化以形成包含第二导电区域和第二绝缘区域的第二电流限制层，第一导电区域和第一绝缘区域之间的边界沿基板的面内方向被布置在第二电流限制层内侧。第一可氧化层和第二可氧化层或邻近各可氧化层的层被调整，使得当两个层在相同的氧化条件下被氧化时，第一可氧化层的氧化速度比第二可氧化层的氧化速度低。

主权项

一种表面发射激光器，包括：依次被设置在基板上的下部多层反射镜、活性层和上部多层反射镜；被设置在上部多层反射镜中或在上部多层反射镜和活性层之间的第一电流限制层，该第一电流限制层包含通过部分氧化第一可氧化层形成的第一绝缘区域和第一导电区域；和被设置为比第一电流限制层更接近活性层的第二电流限制层，该第二电流限制层包含通过部分氧化第二可氧化层形成的第二绝缘区域和第二导电区域，其中，第一导电区域和第一绝缘区域之间的边界沿基板的面内方向被布置在第二导电区域内侧，并且，其中，满足以下的条件(1)～(3)中的任一个：(1)第一可氧化层和第二可氧化层包含Al，并且，第一可氧化层具有比第二可氧化层低的Al成分比；(2)第一可氧化层比第二可氧化层薄；并且(3)邻近第一可氧化层的层中的一个具有比邻近第二可氧化层的层中的一个高的Al成分比。