发明名称 VORRICHTUNG ZUR HERSTELLUNG VON FLÜSSIGKEITSSCHICHTEN MIT VORBESTIMMTER DICKE AUF EINEM TRÄGER
摘要
申请公布号 AT500608(T) 申请公布日期 2011.03.15
申请号 AT20080104354T 申请日期 2008.06.11
申请人 SIEMENS ELECTRONICS ASSEMBLY SYSTEMS GMBH & CO. KG 发明人 NIEDERMEIER, MICHAEL;DASCHNER, CHRISTIAN;ZEIGER, THOMAS;ESCHENWECK, FRIEDRICH
分类号 H01L21/00;B23K1/20;B23K3/06;B23K3/08 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
地址