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发明名称
Mass flow controller with improved dynamic
摘要
A system and method of compensating for pressure variations in a flow controller entails the use of the compressibility of the gas being controlled to provide a more accurate measurement of the flow.
申请公布号
US7905139(B2)
申请公布日期
2011.03.15
申请号
US20080197888
申请日期
2008.08.25
申请人
BROOKS INSTRUMENT, LLC
发明人
LULL JOHN MICHAEL
分类号
G01F1/68
主分类号
G01F1/68
代理机构
代理人
主权项
地址
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