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发明名称
EIN SYSTEM UND EIN VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON MIKROELEKTROMECHANISCHEN SYSTEMEN
摘要
申请公布号
AT499702(T)
申请公布日期
2011.03.15
申请号
AT20050849532T
申请日期
2005.11.18
申请人
PRIMAXX, INC.
发明人
GRANT, ROBERT
分类号
H01L21/673;C23C16/54;H01L21/00;H01L21/677
主分类号
H01L21/673
代理机构
代理人
主权项
地址
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