发明名称 EIN SYSTEM UND EIN VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON MIKROELEKTROMECHANISCHEN SYSTEMEN
摘要
申请公布号 AT499702(T) 申请公布日期 2011.03.15
申请号 AT20050849532T 申请日期 2005.11.18
申请人 PRIMAXX, INC. 发明人 GRANT, ROBERT
分类号 H01L21/673;C23C16/54;H01L21/00;H01L21/677 主分类号 H01L21/673
代理机构 代理人
主权项
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