发明名称 VAKUUMPLASMAGENERATOR
摘要
申请公布号 AT500604(T) 申请公布日期 2011.03.15
申请号 AT20050006876T 申请日期 2005.03.30
申请人 HUETTINGER ELEKTRONIK GMBH + CO. KG 发明人 EYHORN, THORSTEN;NITSCHKE, MORITZ;WIEDEMUTH, PETER;ZAEHRINGER, GERHARD
分类号 H01J37/32 主分类号 H01J37/32
代理机构 代理人
主权项
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