| 摘要 |
Ein Aspekt der Erfindung betrifft eine Sensoranordnung zur Viskositäts-Messung in Flüssigkeiten, die Folgendes aufweist: ein Trägersubstrat mit einer Öffnung; ein metallisches, plattenförmiges Schwingelement, das an einer Oberfläche des Trägersubstrats und parallel zu dieser über der Öffnung angeordnet ist; zumindest zwei elektrisch leitfähige Kontaktelektroden, die auf dem Trägersubstrat angeordnet sind; zumindest zwei metallische Federelemente, wobei das Schwingelement über die Federelemente am Trägersubstrat gelagert ist und die Kontaktelektroden mit den Federelementen elektrisch verbunden sind. Die Sensoranordnung weist weiters einen Magneten auf, der derart in der Nähe des Trägersubstrates angeordnet ist, dass die Magnetfeldlinien das plattenförmige Schwingelement so durchsetzen, dass bei einer Einspeisung eines Erregerstroms in das Schwingelement über die Kontaktelektroden, das plattenförmige Schwingelement zu einer In-plane-Schwingung angeregt wird. |
