发明名称 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM THERMISCHEN BEHANDELN VON SUBSTRATEN
摘要
申请公布号 AT500607(T) 申请公布日期 2011.03.15
申请号 AT20050807468T 申请日期 2005.11.12
申请人 HAMATECH APE GMBH & CO. KG 发明人 SAULE, WERNER;BERGER, LOTHAR;KRAUSS, CHRISTIAN;WEIHING, ROBERT
分类号 H01L21/00 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
地址