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发明名称 Method of simultaneous measurement of homogeneity and recombination parameters of semiconductor material and device for implementing this method
摘要
申请公布号 PL388956(A1) 申请公布日期 2011.03.14
申请号 PL20090388956 申请日期 2009.09.03
申请人 INSTYTUT TECHNOLOGII ELEKTRONOWEJ 发明人 PIOTROWSKI TADEUSZ;&SACUTE,WIDERSKI JAROS&LSTROK,AW
分类号 G01R31/265;H01L21/66 主分类号 G01R31/265
代理机构 代理人
主权项
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