| 主权项 |
一种XY工作台致动器，其特征为由固定板(2)、中间板(4)、可动板(5)、X方向驱动手段以及Y方向驱动手段(7)所构成，其中该中间板(4)系堆叠于前述固定板(2)上且相对于该固定板(2)自如地朝X方向移动，该可动板(5)系堆叠于前述中间板(4)上且相对于该中间板(4)自如地朝Y方向移动，该X方向驱动手段系相对于前述固定板(2)将中间板(4)朝X方向推进，该Y方向驱动手段(7)系相对于前述中间板(4)将前述可动板(5)朝Y方向推进，前述固定板(2)及可动板(5)系具有夹介容纳槽(20)而相对向的一对侧壁(20a)并分别形成大致通道状，另一方面，前述中间板(4)系形成大致平板状，使前述固定板(2)及可动板(5)之容纳槽(20)与前述中间板(4)相对向并藉由堆叠此等三者，而且只在固定板(2)与中间板(4)之间形成前述X方向驱动手段的容纳室(60)，并且只在中间板(4)与可动板(5)之间形成前述Y方向驱动手段(7)的容纳室(70)。如申请专利范围第1项所记载的XY工作台致动器，其中，前述X方向驱动手段及Y方向驱动手段，为由磁铁构件(71)、及与该磁铁构件(71)相对向的线圈构件(72)所构成的线性马达，前述磁铁构件(71)系配设于中间板(4)，另一方面，线圈构件(72)系配置于固定板(2)及可动板(5)之容纳槽(20)内。如申请专利范围第1项所记载的XY工作台致动器，其中，前述X方向驱动手段及Y方向驱动手段(107)，系由磁铁构件(172)、及与该磁铁构件(172)相对向的线圈构件(171)所构成的线性马达，前述X方向驱动手段及Y方向驱动手段之线圈构件(171)系同时配设于前述中间板(4)，另一方面，前述X方向驱动手段之磁铁构件(172)系配设于固定板(2)，而前述Y方向驱动手段之磁铁构件(172)系配设于可动板(5)。如申请专利范围第3项所记载的XY工作台致动器，其中，沿着线性马达之推进方向的前述线圈构件(171)之配设长度，系比相对向的磁铁构件(172)之配设长度还大。如申请专利范围第3项所记载的XY工作台致动器，其中，配设有前述线圈构件(171)的中间板(4)之线膨胀系数，系比配设有前述磁铁构件(172)的固定板(2)或可动板(5)之线膨胀系数还小。如申请专利范围第3项所记载的XY工作台致动器，其中，对前述X方向驱动手段及Y方向驱动手段之线圈构件(171)供电用的供电线系收纳于一片的软性印刷基板内，并从前述中间板(4)拉出。如申请专利范围第5项所记载的XY工作台致动器，其中，前述固定板(2)、可动板(5)及中间板(4)之线膨胀系数小于10×10-6(1/℃)。 |
