发明名称 垂直式蚀刻机之直排轮式输送装置
摘要
申请公布号 申请公布日期 2011.03.11
申请号 TW099209761 申请日期 2010.05.24
申请人 郭明宏 发明人 郭明宏
分类号 H01L21/677 主分类号 H01L21/677
代理机构 代理人 林衍锋 台北市中正区罗斯福路2段10号8楼
主权项 一种垂直式蚀刻机之直排轮式输送装置,主要由两列相近竖立对夹电路板之辗送轮柱、从第一列辗送轮柱顶传入转动动力之一动力传入齿轮组、于两列辗送轮柱底传送动力到第二列辗送轮柱之齿轮基架组,竖设于两列辗送轮柱外,连通蚀刻液管路之蚀刻液喷管,及一箱壳所构成,其特征在于:动力传入齿轮组除了最先接受外界动力机组传来动力之第一级齿轮组外,所有构件均封入箱壳者。如申请专利范围第1项之垂直式蚀刻机之直排轮式输送装置,其中所述该箱壳之箱壳顶板上端,每隔一定直线距离架设一组第一级齿轮组,该些第一级齿轮组为串接外界动力机组输出轴之主动伞齿轮,垂向啮接被动伞齿轮所构成,而箱壳对应被动伞齿轮之轮毂处,开设供轮毂贯穿之透孔,复于动力传入齿轮组中,每对应到轮毂毂孔之每只主动齿轮轮心,竖伸出插接轮毂毂孔之扭转轮轴,且每只主动齿轮平行第一列辗送轮柱排列延展方向,啮接数只互啮之被动齿轮,且该些被动齿轮当中数只被动齿轮转排放到第一列辗送轮柱顶位置,固套在第一列辗送轮柱上者。如申请专利范围第1项之垂直式蚀刻机之直排轮式输送装置,其中所述该箱壳之箱壳顶板朝向箱内之板面,垂直对应每一辗送轮柱顶,嵌设一只套住辗送轮柱柱顶尖之柱轴承座,且箱壳顶板朝向箱内之板面,垂直对应辗送轮柱周围之被动齿轮轮心,嵌设一只垂插入被动齿轮轮心之固定轴者。
地址 台北市大安区仁爱路4段396号6楼