| 主权项 |
一种基板检查装置，包含有：保持器旋动机构，系可保持被检查基板，于检查时可将前述被检查基板移动至检查位置，而非检查时则可移动至退避位置者；及背光，系位于与前述被检查基板之观察表面侧相反的里面侧，可照射前述被检查基板者，而藉由前述背光之背面透射照明，可进行前述被检查基板之外观检查，又，该基板检查装置具有可移动前述背光之移动机构，且该移动机构在以背面透射照明进行观察时，使前述背光接近由前述保持器旋动机构设定为预定角度之前述被检查基板的里面侧，并且在以来自表面侧之入射照明进行观察时及前述保持器旋动机构旋动时，使前述背光移动至前述保持器旋动机构之旋动区域外。如申请专利范围第1项之基板检查装置，其中前述移动机构在以来自表面侧之入射照明进行观察时，更使前述背光移动至可观察前述被检查基板之观察视野外。如申请专利范围第1项之基板检查装置，其中前述移动机构在以来自表面侧之入射照明进行观察时，更可使前述背光相对于从侧面望去之铅直方向倾斜。如申请专利范围第1至3项中任一项之基板检查装置，其中前述移动机构更具有可旋转地支持于前述保持器旋动机构之前述旋动区域上方的旋动臂，而前述背光设置于前述旋动臂上，且可于前述旋动区域上方旋转移动。如申请专利范围第1至3项中任一项之基板检查装置，其中前述移动机构更具有可旋转地支持于前述保持器旋动机构之前述旋动区域下方的旋动臂，而前述背光设置于前述旋动臂上，且可于前述旋动区域下方旋转移动。如申请专利范围第1至3项中任一项之基板检查装置，其中前述移动机构更具有可旋动地支持于与前述保持器旋动机构旋动中心同轴上的旋动臂，而前述背光设置于前述旋动臂上，且可于前述被检查基板之里面侧后方旋转移动。如申请专利范围第1至3项中任一项之基板检查装置，其中前述移动机构更具有设置于前述保持器旋动机构之前述旋动区域上方的滑动机构，而前述背光设置于前述滑动机构上，且可于前述旋动区域上方平行移动。如申请专利范围第1至3项中任一项之基板检查装置，其中前述移动机构更具有设置于前述保持器旋动机构之前述旋动区域下方的滑动机构，而前述背光设置于前述滑动机构上，且可于前述旋动区域下方平行移动。如申请专利范围第4项之基板检查装置，其中前述移动机构之前述旋动臂系由2根连杆所构成，又，各前述连杆之一端被支持于前述保持器旋动机构之旋动区域外的相异位置处并可旋动，且各前述连杆之另一端可旋动地安装于固定构件的相异位置处而构成曲柄连杆机构，并且前述背光固定于前述固定构件上。如申请专利范围第5项之基板检查装置，其中前述移动机构之前述旋动臂系由2根连杆所构成，又，各前述连杆之一端被支持于前述保持器旋动机构之旋动区域外的相异位置处并可旋动，且各前述连杆之另一端可旋动地安装于固定构件的相异位置处而构成曲柄连杆机构，并且前述背光固定于前述固定构件上。如申请专利范围第6项之基板检查装置，其中前述移动机构之前述旋动臂系由2根连杆所构成，又，各前述连杆之一端被支持于前述保持器旋动机构之旋动区域外的相异位置处并可旋动，且各前述连杆之另一端可旋动地安装于固定构件的相异位置处而构成曲柄连杆机构，并且前述背光固定于前述固定构件上。如申请专利范围第9项之基板检查装置，其中构成前述旋动臂之2根前述连杆设定为不同长度。如申请专利范围第10项之基板检查装置，其中构成前述旋动臂之2根前述连杆设定为不同长度。如申请专利范围第11项之基板检查装置，其中构成前述旋动臂之2根前述连杆设定为不同长度。 |
