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经营范围
发明名称
LOW THERMAL MASS SEMICONDUCTOR WAFER SUPPORT
摘要
申请公布号
KR20110025781(A)
申请公布日期
2011.03.11
申请号
KR20107029664
申请日期
2009.06.22
申请人
MEMC ELECTRONIC MATERIALS, INC.
发明人
GILMORE BRIAN L.;HELLWIG LANCE G.
分类号
H01L21/673;H01L21/324
主分类号
H01L21/673
代理机构
代理人
主权项
地址
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