发明名称 LOW THERMAL MASS SEMICONDUCTOR WAFER SUPPORT
摘要
申请公布号 KR20110025781(A) 申请公布日期 2011.03.11
申请号 KR20107029664 申请日期 2009.06.22
申请人 MEMC ELECTRONIC MATERIALS, INC. 发明人 GILMORE BRIAN L.;HELLWIG LANCE G.
分类号 H01L21/673;H01L21/324 主分类号 H01L21/673
代理机构 代理人
主权项
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