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Un diélectrique de grille (13), une couche d'isolation (18, 19, 20) et un masque de gravure (16) sont formés sur un substrat (11). Le masque de gravure (16) délimite au moins l'électrode de grille et les contacts de source et de drain et les lignes de sortie de source, de drain et de grille du premier niveau de métal d'un dispositif à effet de champ. L'électrode de grille et les futurs contacts de source et de drain sont formées simultanément par gravure de la couche d'isolation (18, 19, 20). Un matériau de grille (23) est déposé pour former l'électrode de grille. Les contacts de source et de drain sont formés au moins dans le couche d'isolation (18, 19, 20). Les lignes de sortie de source, de drain et de grille du premier niveau de métal sont formées dans le masque de gravure (16).
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