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发明名称 Menetelmä sisäisten mekaanisten jännitysten vähentämiseksi puolijohderakenteessa ja puolijohderakenne, jossa on matalat mekaaniset jännitykset
摘要
申请公布号 FI20095937(A) 申请公布日期 2011.03.11
申请号 FI20090005937 申请日期 2009.09.10
申请人 OPTOGAN OY 发明人 ROMANOV, ALEXEI;ODNOBLYUDOV, MAXIM A.;BOUGROV, VLADISLAV V.
分类号 H01L21/02;H01L21/205 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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