Es wird ein Gassensor zur Detektion von Kohlendioxid angegeben. Der Gassensor basiert auf einem Feldeffekttransistoraufbau. Er weist als gassensitive Schicht ein Material mit einem primären Aminogruppensystem auf. Zur Detektion von Kohlendioxid wird die Austrittsarbeit oder ein Effekt der Austrittsarbeit der gassensitiven Schicht direkt oder indirekt gemessen.
申请公布号
DE102009040053(A1)
申请公布日期
2011.03.10
申请号
DE200910040053
申请日期
2009.09.03
申请人
SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT
发明人
FLEISCHER, MAXIMILIAN;TAWIL, ANGELIKA;STEGMEIER, STEFAN