VERFAHREN ZUR IN-SITU ÜBERWACHUNG UND KONTROLLE VON FILMDICKE UND GRABENTIEFE,申请号DE200460031201T-传众专利搜索

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发明名称	VERFAHREN ZUR IN-SITU ÜBERWACHUNG UND KONTROLLE VON FILMDICKE UND GRABENTIEFE
摘要
申请公布号	DE602004031201(D1)	申请公布日期	2011.03.10
申请号	DE200460031201T	申请日期	2004.03.09
申请人	VERITY INSTRUMENTS INC.	发明人	KUENY, ANDREW WEEKS
分类号	G01R31/26;G01B11/06;G01R31/312;H01L21/66	主分类号	G01R31/26
代理机构		代理人
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