发明名称 Verfahren und Vorrichtung zur Beschichtung von Substraten aus der Dampfphase
摘要 <p>Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Beschichtung von Substraten mit zu verdampfenden Materialien in einer Vakuumbeschichtungsanlage nach Patentanmeldung Nr. 10 2009 007 587.9 und ihr liegt die Aufgabe zugrunde, einen Zwischenträger anzugeben, der einen Einsatz in einer Durchlaufbeschichtungsanlage gewährleistet. Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch einen zylindrischen Zwischenträger gelöst.</p>
申请公布号 DE102009040086(A1) 申请公布日期 2011.03.10
申请号 DE20091040086 申请日期 2009.09.04
申请人 VON ARDENNE ANLAGENTECHNIK GMBH 发明人 GROSS, HARALD
分类号 C23C14/24;C23C14/12 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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