发明名称 PROCESS FOR SYNTHESIZING A THIN FILM OR COMPOSITION LAYER VIA NON-CONTACT PRESSURE CONTAINMENT
摘要
申请公布号 KR20110025638(A) 申请公布日期 2011.03.10
申请号 KR20107019164 申请日期 2010.03.26
申请人 HELIOVOLT CORPORATION 发明人 SANG BAOSHENG;ELDADA LOUAY;LIM ABNER;TAYLOR MATTHEW
分类号 C23C4/18;C23C14/58 主分类号 C23C4/18
代理机构 代理人
主权项
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