| 摘要 |
<p>Es ist ein Reaktor (10) zur Herstellung von polykristallinem Silizium offenbart, der mit einem Reaktorboden (12) versehen ist, der eine Vielzahl von Düsen (40) ausgebildet hat, durch welche ein siliziumhaltiges Gas in den Reaktor (10) strömt. An einer Außenfläche (33) des Reaktorbodens (12) wird durch diese Außenfläche (33) und durch eine Wandung (70) ein Hohlraum (71) begrenzt, welcher die Verteilung des siliziumhaltigen Gases auf mindestens einen Teil der Düsen (40) bildet.</p> |
