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发明名称
摘要
申请公布号	JP2011508434(A)	申请公布日期	2011.03.10
申请号	JP20100539811	申请日期	2008.12.18
申请人		发明人
分类号	H01L21/318;C23C16/42;H01L21/306;H01L21/31	主分类号	H01L21/318
代理机构		代理人
主权项
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