太阳能电池的沉积盒

摘要

本实用新型涉及一种太阳能电池沉积盒，属于太阳能电池技术领域。沉积盒包括阴极板屏蔽罩，所说的腔室是一个带滚轮的活动式腔室，该腔室内安装由电极板构成的电极阵列，该电极阵列包括至少一对阴极板和一块阳极板；馈入口位于电极板的阴极板背面中心区域内的下凹的圆形面内；馈入组件的端面呈圆形，与电极板的馈入口面接触连接，所述馈入组件接射频或甚频功率电源信号的负极；阴极板屏蔽罩上开有通孔，阴极板与屏蔽罩之间绝缘。积极效果是克服了一点或多点馈入因馈线距离造成的损耗，在射频/甚高频功率电源驱动下可获得均匀电场大面积稳定放电，有效的消除了甚高频引发的驻波和趋肤效应，能够提高产率，降低成本。

主权项

一种太阳能电池的沉积盒，包括电极板、信号馈入组件和腔室，其特征在于还包括阴极板屏蔽罩，所述的腔室是一个带滚轮的活动式腔室，该腔室内安装由电极板构成的电极阵列，并由此形成腔室阵列；馈入口位于电极板的阴极板背面中心区域内的下凹的圆形面内；馈入组件的端面呈圆形，与电极板的馈入口面接触连接，所述馈入组件接射频或甚频功率电源信号的负极；阴极板屏蔽罩上开有通孔，阴极板与屏蔽罩之间绝缘；所述的电极阵列包括至少一对阴极板和一块阳极板。