一种基于MEMS技术的微液量计量装置及其方法

摘要

一种基于MEMS技术的微液量计量装置及其方法，所述微液量计量装置包括：气闭管道；MEMS微结构压力传感器，该传感器的P1管与大气相通，P2管与气闭管道连接，该传感器测出大气同气闭管道中气体的压力差并输出，利用该压力差可计算出被计量液体的体积。

主权项

一种基于MEMS技术的微液量计量方法，包括：MEMS微结构压力传感器、电路板、橡胶管、气闭管道、蓄存管道；所述MEMS微结构压力传感器封装在电路板上，所述MEMS微结构压力传感器的P1管与大气相通，P2管通过所述橡胶管与所述气闭管道的一端相连接，所述气闭管道的另一端与所述蓄存管道相连接；在蓄存管道中加入一定量的液体，使气闭管道中的空气被封闭起来；将被计量液体由进液口加入蓄存管道；利用MEMS微结构压力传感器测量气闭管道中的压力变化ΔP；利用ΔP计算出被计量液体的体积ΔV。