发明名称 | 镁-铜组合物在镁蒸发中的应用以及镁分配器 | ||
摘要 | 说明了镁-铜组合物对于蒸发镁的应用,以及一些镁分配器的实施例。 | ||
申请公布号 | CN101448970B | 申请公布日期 | 2011.03.09 |
申请号 | CN200780008870.1 | 申请日期 | 2007.03.12 |
申请人 | 工程吸气公司 | 发明人 | L·卡塔尼奥;A·博努斯;S·彼若拉;A·加利托格诺塔 |
分类号 | C23C14/24(2006.01)I;C23C14/26(2006.01)I;H01L51/50(2006.01)I;H05B33/26(2006.01)I;H01J19/066(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/24(2006.01)I |
代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人 | 李帆 |
主权项 | 镁‑铜组合物在镁蒸发中的用途,其中所述组合物包含至多43.34重量%的镁。 | ||
地址 | 意大利米兰 |