发明名称 镁-铜组合物在镁蒸发中的应用以及镁分配器
摘要 说明了镁-铜组合物对于蒸发镁的应用,以及一些镁分配器的实施例。
申请公布号 CN101448970B 申请公布日期 2011.03.09
申请号 CN200780008870.1 申请日期 2007.03.12
申请人 工程吸气公司 发明人 L·卡塔尼奥;A·博努斯;S·彼若拉;A·加利托格诺塔
分类号 C23C14/24(2006.01)I;C23C14/26(2006.01)I;H01L51/50(2006.01)I;H05B33/26(2006.01)I;H01J19/066(2006.01)I 主分类号 C23C14/24(2006.01)I
代理机构 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 代理人 李帆
主权项 镁‑铜组合物在镁蒸发中的用途,其中所述组合物包含至多43.34重量%的镁。
地址 意大利米兰