带有双膜片的微机械膜片传感器

摘要

本发明描述了一种用于制造微机械膜片传感器的方法以及一种借助所述方法制造的微机械膜片传感器。在此规定，微机械膜片传感器具有至少一个第一膜片和一个基本上在第一膜片之上的第二膜片。此外还规定，微机械膜片传感器具有第一空腔和基本上在第一空腔之上的第二空腔。

主权项

用于制造微机械膜片传感器的方法，所述微机械膜片传感器至少具有一个第一膜片(400)和一个基本上位于该第一膜片上方的第二膜片(410)，以及一个第一空腔(300)和一个基本上位于该第一空腔(300)上方的第二空腔(310)，其中为了制造膜片传感器，设置这些方法步骤：在衬底(100)上产生一个第一保护层(110)，在该第一保护层(110)中产生至少一个孔(120)直到该衬底(100)，将一个第一膜片层(130)施加到该第一保护层(110)上，将该第一膜片层(130)结构化，在该第一膜片层(130)的至少一部分上产生一个第二保护层(150)，在该第二保护层(150)中产生至少一个孔(160，165)直到该第一膜片层(130)，将一个牺牲层(170)施加到该第二保护层(150)上，在该牺牲层(170)的至少一部分上产生一个第三保护层(180)，施加一个第二膜片层(210)，在该第二膜片层(210)和该第三保护层(180)中产生至少一个孔(230)直到牺牲层(170)，其特征在于，在一个刻蚀步骤中通过去除掉该牺牲层(170)的、该第一膜片层(130)的以及该衬底(100)的一部分来产生这两个空腔(300，310)。