太阳能电池沉积夹具

摘要

本实用新型涉及一种太阳能电池沉积夹具，属于太阳能电池技术领域。太阳能电池沉积夹具包括电极板组件、信号馈入组件及腔室，多套带屏蔽罩的电极板组件安装在腔室内构成放电的夹具阵列，信号馈入组件的一端与电极板组件的馈入口面接触连接，馈入口设置在带屏蔽罩电极板组件的阴极板背面中心区域内凹的矩形面上，所述的信号馈入组件是由腰部和头部构成弯曲形的条状馈入带，其头部信号馈入端面是矩形，腰部带绝缘屏蔽外壳。积极效果是克服了一点或多点馈入因馈线距离造成的损耗，在射频或甚高频功率电源驱动下可获得均匀电场大面积稳定放电，有效的消除了甚高频引发的驻波和趋肤效应，能够提高产率，降低成本。

主权项

一种太阳能电池沉积夹具，包括电极板组件、信号馈入组件及腔室，其特征在于多套带屏蔽罩的电极板组件安装在腔室内构成放电的夹具阵列，信号馈入组件的一端与电极板组件的馈入口面接触连接，馈入射频或甚高频功率电源信号，该馈入口设置在带屏蔽罩电极板组件的阴极板背面中心区域内凹的矩形面上，所述的信号馈入组件是由腰部和头部构成弯曲形的条状馈入带，其头部信号馈入端面是矩形，腰部带绝缘屏蔽外壳。