| 发明名称 | 用于固定晶圆的支撑物 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种用于固定晶圆的支撑物，所述支撑物包括立柱和沿着立柱纵向分布的多个支架，所述支架与晶圆接触的面为斜面。采用本实用新型方案，当晶圆正面向下放置在所述支撑物上时，晶圆与支架接触的面积相对于现有技术大大缩小，可以减少由于晶圆正面朝下放置导致的产量损失。 | ||
| 申请公布号 | CN201758118U | 申请公布日期 | 2011.03.09 |
| 申请号 | CN200920213426.X | 申请日期 | 2009.12.15 |
| 申请人 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 发明人 | 赵星;高剑鸣;翟立君;王秉国 |
| 分类号 | H01L21/683(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/683(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人 | 谢安昆;宋志强 |
| 主权项 | 一种用于固定晶圆的支撑物，所述支撑物包括立柱和沿着立柱纵向分布的多个支架，其特征在于，所述支架与晶圆接触的面为斜面。 | ||
| 地址 | 201203 上海市浦东新区张江路18号 | ||