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发明名称 Charged particle beam device
摘要
申请公布号 EP1450391(A3) 申请公布日期 2011.03.09
申请号 EP20040001955 申请日期 2004.01.29
申请人 HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION 发明人 TANBA, YUUSUKE;SATO, MITSUGU;TAKAHASHI, KANAME;WATANABE, SHUNYA;NAKAGAWA, MINE;MUTO, ATSUSHI;MORIKAWA, AKINARI
分类号 H01J37/26;H01J37/09;H01J37/244;H01J37/28 主分类号 H01J37/26
代理机构 代理人
主权项
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