成膜基板夹具及其成膜装置

摘要

一种成膜基板夹具及其成膜装置，涉及成膜基板夹具及成膜装置技术领域，所解决的是降低生产成本，提高生产率的技术问题。该装置包括成膜腔体，所述成膜腔体内设有用于夹持成膜基板的成膜基板夹具组，及用于向成膜基板供给成膜材料的材料供给部；所述成膜基板夹具包括非成膜区域，设有供各成膜基板的成膜区域露出多个开口部的夹具基体，以及能使各成膜基板的板面均倾斜于夹具基体表面且互不接触的多个夹持部件。本发明提供的夹具及其装置，在成膜基板的成膜区域较小时，能有效增加成膜基板的搭载数，减少非成膜区域的成膜，从而达到提高产能，减少材料消耗量，降低成本的目的。

主权项

一种成膜基板夹具，其特征在于：包括能覆盖所夹持的各成膜基板的非成膜区域，并设有供所夹持的各成膜基板的成膜区域露出的多个开口部的夹具基体，及设置在夹具基体同侧表面上，能使所夹持的各成膜基板的板面均倾斜于夹具基体的该侧表面并互不接触的多个夹持部件。