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发明名称 MICRO-ELECTROMECHANICAL SENSOR
摘要
申请公布号 EP1407464(B1) 申请公布日期 2011.03.09
申请号 EP20020768320 申请日期 2002.07.17
申请人 SMC KABUSHIKI KAISHA 发明人 ZIAS, ART;MAUGER, PHIL;CAHILL, SEAN;NYSTROM, NORM;HENNING, ALBERT, K.
分类号 G01L9/12;H01G5/00;G01L1/14;G01L9/00;H01G4/38;H01G5/06;H01G5/16;H01G5/18;H01G7/00;H01L29/84 主分类号 G01L9/12
代理机构 代理人
主权项
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