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发明名称 WORK-PIECE PROCESS APPARATUS HAVING REMOTE PLASMA REACTOR
摘要
申请公布号 KR101020079(B1) 申请公布日期 2011.03.09
申请号 KR20080008316 申请日期 2008.01.26
申请人 发明人
分类号 H01L21/02;H01L21/3065 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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