发明名称
摘要
申请公布号 JP4647050(B2) 申请公布日期 2011.03.09
申请号 JP19990275296 申请日期 1999.09.28
申请人 发明人
分类号 H01L27/105;H01L21/8242;H01L21/8246;H01L27/10;H01L27/108 主分类号 H01L27/105
代理机构 代理人
主权项
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