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发明名称
Apparatus for cleaning a substrate
摘要
申请公布号
KR101020676(B1)
申请公布日期
2011.03.09
申请号
KR20080117939
申请日期
2008.11.26
申请人
发明人
分类号
H01L21/302;B05C5/02;B08B3/00;G02F1/13
主分类号
H01L21/302
代理机构
代理人
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