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发明名称 Electron beam apparatus with specimen holder
摘要
申请公布号 EP1503398(B1) 申请公布日期 2011.03.09
申请号 EP20040017632 申请日期 2004.07.26
申请人 CARL ZEISS NTS GMBH 发明人 HILLER, STEPHAN;NIEBEL, HARALD;KOENIG, RICHARD
分类号 H01J37/20;H01J37/26 主分类号 H01J37/20
代理机构 代理人
主权项
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