有机EL显示装置及其制造方法

摘要

本发明提供一种有机EL显示装置及其制造方法。在形成于电路板(101)上的电路形成部(102)之上形成有有机EL元件部(1000)。有机EL元件部(1000)由包含SiNxOy膜的保护层(113)覆盖。SiNxOy的Si-O-Si伸缩振动吸收峰值在比1000cm-1更低能量一侧存在，在约870cm-1附近存在的Si-N伸缩振动吸收峰值的吸收强度是Si-O-Si伸缩振动吸收峰值的吸收强度的0.75倍以上；具有如下的红外吸收特性，即在2000～4000cm-1区域的吸收峰值的强度是Si-N伸缩振动吸收峰值的吸收强度的5％以下。据此，能取得具有优异的水分阻止特性的保护膜，能提高有机EL显示装置的寿命特性。

主权项

一种有机EL显示装置，通过具有SiNxOy膜的保护层覆盖着有机EL元件，该有机EL元件是在形成有电路的第一衬底上依次层叠第一电极、包含发光层的有机层以及第二电极而形成的，该有机EL显示装置的特征在于：所述SiNxOy膜与所述第二电极接触；所述SiNxOy膜的Si‑O‑Si伸缩振动吸收峰值在比1000cm‑1更低能量一侧存在，在约870cm‑1附近存在的Si‑N伸缩振动吸收峰值的吸收强度是所述Si‑O‑Si伸缩振动吸收峰值的吸收强度的0.75倍以上；所述SiNxOy膜具有在2000～4000cm‑1区域的吸收峰值的强度为所述Si‑N伸缩振动吸收峰值的吸收强度的5％以下的红外吸收特性。