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发明名称
摘要
申请公布号
FR2110956(A5)
申请公布日期
1972.06.02
申请号
FR19710035641
申请日期
1971.10.04
申请人
WESTERN ELECTRIC
发明人
分类号
C30B25/14;H01L21/205;H01L33/26;(IPC1-7):B01J17/00;H05B33/00
主分类号
C30B25/14
代理机构
代理人
主权项
地址
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