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发明名称 Cleaning unit for chuck
摘要
申请公布号 KR101020332(B1) 申请公布日期 2011.03.08
申请号 KR20090008773 申请日期 2009.02.04
申请人 发明人
分类号 H01L21/304;H01L21/02;H01L21/302 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
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